Weisslicht-Interferometer

Folgende Modelle werden angeboten:

- smartWLI-basic (kostengünstig, kompakt)

- smartWLI-extended (mit automatischem Stitching)

- smartWLI-microscope (Aufrüstung bestehender Mikroskope auf WLI)

Technische Daten:

Interferometer Objektive: von 2.5x bis 100x

Z-scan Piezo: 400 Mikrometer

Lichtquelle: LED

XY-Tisch: motorisiert (smartWLI-extended) oder manuell (smartWLI-basic)

CCD Kamera: GigE

Vertikale Auflösung: Nanometer Bereich

Laterale Auflösung: Mikrometer Bereich (abhängig vom Objektiv)

Alle smartWLI Geräte werden mit der praktischen und ausserordentlich vielseitigen Auswertesoftware MountainsMAP geliefert. Diese erlaubt auch die einfache Reporterstellung mittels Vorlagen.

Anwendung

Vermessung von Form und Rauhigkeit von Oberflächen aller Art.

Aufrüsten eines bestehenden optischen Mikroskops auf 3D Weisslicht-Interferometrie.

Schichtdickenmessung transparenter Schichten von 2 bis 200 Mikrometer Dicke.