Sensofar optische Profilometer

Sensofar ist einer der führenden Hersteller Optischer Profilometer.
Die Geräte ermöglichen dank der Verwendung neuester patentierter Displaytechnik als einzige Systeme weltweit die Kombination von Interferometrie und Konfokaltechnik in einem sehr kompakten Messgerät.
Der Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken erfolgt innerhalb weniger Sekunden, wodurch es möglich wird, innerhalb kürzester Zeit ein äußerst breites Spektrum unerschiedlichster Proben zu vermessen.
Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer garantierten vertikalen Auflösung von 0.01nm im Interferometriebetrieb bis zur Vermessung extrem rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis zu 70Grad im Konfokalmodus. Durch den Einsatz sehr kurzwelliger blauer LEDs als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert.
Das innovative Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne jegliche bewegliche Bauteile im Messkopf aus und vermeidet daher die typischen Nachteile herkömmlicher Konfokaler Laserscanning oder Nipkowdisk-basierter Systeme.
Sensofar bietet eine sehr breite Produktpalette von Geräten für unterschiedlichste Einsatzzwecke an.
Diese reicht vom portablen System, welches überall dort zum Einsatz kommt, wo die Proben zu groß bzw.zu schwer sind (z.B. in der Druckwalzenindustrie),über das stationäre Forschungssystem, bis zum vollautomatisierten Gerät zum Einsatz beispielsweise in der Halbleiterindustrie.
Auch maßgeschneiderte Sonderanfertigungen sind möglich.
Abgerundet wird die Gerätepalette durch eine Vielzahl möglicher Optionen, wie z.B.der Nachrüstung einer Schichtdickenmessoption für sehr dünne, transparente Schichten ab 10nm bei einer Auflösung von 0.1nm.

Produkte:

- NEU: PLµ NEOX: (Dual-Lichtquelle und Dual-Kamera, Interferometrie und Konfokal)

- Sensofar PLµ 2300: Interferometrie und Konfokal im selben Gerät

- Sensofar PLµ 4300: Interferometrie und spektroskopische Reflektometrie im selben Gerät

- Sensofar PLµ 1300: Portables Gerät, speziell für die Messung von Zylindern

Anwendung

- Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.

- Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.

- Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.

- Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.  

- Interferometrie; Konfokal-Messtechnik, optische Profilometrie

- Linsenradien, asphärische Linsen

- Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung