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Sigma Instruments

SQM160
SQM242 PCI Karte
Q-pod

 

In-Situ Raten and Schichtdickenmessung & -Regelung mittels QCM Sensoren

 

Die Schwingquartz-Methode ist in der Oberflächenbeschichtungstechnik das am häufigsten angewandte Prinzip zur Messung und Regelung von Schichtdicken und Beschichtungsraten. Die Schichtdicken Mess- & Regelgeräte von Sigma Instruments arbeiten nach diesem Messverfahren und erlauben die Einstellung sowie Speicherung der für den Beschichtungsprozess relevanten Prozessparameter. Darüber hinaus gestatten zahlreiche LabView Applikationen sowie frei programmierbare RS 232 Schnittstellen die Integration in bereits bestehende Prozessstrukturen.

 


Produkte:

 

-Q-pod Single-Channel Quartz Crystal Monitor
-SQM 160 Multi-Channel Quartz Crystal Monitor
-SQM 242 Co-Deposition Controller Card auf PCI Karte 
-SQC 300 Series Multi-Layer Deposition Controllers
-QCM Sensoren, Vakuumdurchführungen und Zubehör
-EIES-Guardian IV Co-Deposition Controller System
-CI 100 Cucible Indexer

 

 

Anwendung:

 

- Vakuum-Beschichtungsanlagen

- PVD Beschichtungsprozesse

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

QCM Messaufbau
Crucible Indexer
Crucible Indexer Software
QCM Sensoren
Kontakt
Schaefer Technologie GmbH
Robert-Bosch-Str. 31
63225 Langen, Deutschland
Telefon +49-6103-300 98 0
Telefax +49-6103-300 98 29
info@schaefer-tec.com
www.schaefer-tec.com

Weitere Informationen

Links
- Webseite Sigma Instruments


Downloads
- Q-pod Broschüre (1.1 MB)

- SQM-160 Broschüre (0.1 MB)

- SQM-242 Broschüre (0.2 MB)

- SQC-300 Broschüre (0.3 MB)

- FAQ Sensor Installation (0.1 MB)

 

 

 

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