Alpha-Step

KLA-Tencor ist einer der führenden Hersteller taktiler und optischer Profilometer.

Produkte:

- Alpha-Step D-100 Stylus Profiler

- Alpha-Step D-120 Stylus Profiler

- Alpha-Step IQ Surface Profiler

- P-6 Stylus Profiler

- P16+ Surface Profiler

- MicroXAM-100 Optical Profiler

- MicroXAM Optical Surface Profiler

Anwendung

- Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.

- Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.

- Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.

- Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.  

- Interferometrie; optische Profilometrie

- Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung