Interféromètre à lumière blanche

Deux interféromètres économiques, smartWLI-Basic et smartWLI-Extended mais aussi un upgrade pour microscope optique, smartWLI-microscope sont disponibles.
La force de ces instruments réside dans leur prix très compétitif et dans un algorithme de calcul permettant une mesure rapide et qui fait de la gamme smartWLI les interféromètres par lumière blanche les plus rapides du marché !

Caractéristiques Principales:
. Non-contact
. Précision en dessous du nanomètre
. Rapide
. Fiable

L’interférométrie par lumière blanche est l’une des techniques optiques éprouvées pour l’analyse 3-D de surfaces avec une résolution inférieure au nanomètre. Parce que les points de mesures sont acquis et traités en parallèle, la hauteur Z peut être recueillie sur une grande surface en un temps très court. Les applications typiques dans la recherche ou le contrôle de qualité sont la caractérisation de surface avec des rugosités différentes (wafer, miroirs, verres, métaux), la détermination de marches et de profondeurs de gravure, la mesure précise de surfaces courbes.

La ligne de produit smartWLI offre des solutions innovantes utilisant l’interférométrie par lumière blanche. L’ensemble du processus de mesure est piloté par le logiciel smartWLI, un logiciel qui a déjà fait ses preuves dans la mise en place de solutions customisées d’analyse 3D de surface pour l’industrie. L’algorithme permettant l’obtention rapide de mesure de grande précision, est le fruit de longues années de recherches. Les résultats ont fait l’objet de publications dans de grandes revues scientifiques.

Spécifications Techniques:

smartWLI basic
• Statif avec colonne de 245mm
• Table micrométrique XY manuelle (160x160mm2, mouvement 73x55mm2)
• Tête de mesure SmartWLI-basic :
• Illumination LED
• Objectif d’interférence x10 ou x20
(grossissement x10 pour un champ de vision de 1.0 x 0.75 mm2, résolution de 2.7 µm)
(grossissement x20 pour un champ de vision de 0.5 x 0.375 mm2, résolution de 1.3 µm)
• Moteur piezo pour le mouvement en Z de l’objectif, jusqu’à 400 µm
• Caméra CCD avec 782 x 582 pixels, GigE
La caméra peut être utilisée aussi bien pour de la microscopie traditionnelle que pour de l’interférométrie en lumière blanche.
• PC avec un processeur I5, MS Windows 7, 4 GB RAM, NVIDIA GPU pour le calcul CUDO, moniteur TFT, clavier, souris
• Logiciel smartWLI pour la mesure de topographie et l’exportation 3D des données automatique vers le logiciel MountainsMap® Image Topography, documentation
• Logiciel MountainsMap® Image Topography, pour l’exploitation et l’analyse des données, la création de rapport de mesures

smartWLI extended
• Table en granite avec colonne en granite soutenant les objectifs
• Table XY motorisée (226x232mm2, mouvement 76x52mm2)
• Tête de mesure SmartWLI-extended :
• Tourelle 4 objectifs
• Illumination LED puissante
• Objectif d’interférence x10 ou x20
(grossissement x10 pour un champ de vision de 1.0 x 0.75 mm2, résolution de 2.7 µm)
(grossissement x20 pour un champ de vision de 0.5 x 0.375 mm2, résolution de 1.3 µm)
• Moteur piezo pour le mouvement en Z de l’objectif, jusqu’à 400 µm
• Caméra CCD avec 782 x 582 pixels, GigE
La caméra peut être utilisée aussi bien pour de la microscopie traditionnelle que pour de l’interférométrie en lumière blanche.
• PC avec un processeur I5, MS Windows 7, 4 GB RAM, NVIDIA GPU pour le calcul CUDO, moniteur TFT, clavier, souris
• Logiciel smartWLI pour la mesure de topographie et l’exportation des données automatique vers le logiciel MountainsMap® Image Topography, documentation
• Logiciel MountainsMap® Image Topography, pour l’exploitation et l’analyse des données, la création de rapport de mesures

Applications

Mesure de forme et de rugosité de surfaces de toute sorte.

Compléter un microscope éxistant à l'interférométrie à lumière blanche, donc à la microscopie 3D.

Mesure d'épaisseurs de couches transparentes entre 2 à 200 micromètres.