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Park Systems AFM

Park Systems NX10
Park Systems XE-100
AFM Bild, Atomare Stufen
AFM Bild, Zelle

NEU: Das neue AFM von Park Systems: NX10

 

 http://parkafm.com/nx/

 

The World's Most Accurate AFM 

 

 

 

Ermöglicht durch die sehr lange Erfahrung im Bau von Rastersondenmikroskopen, hat Park  in der neuesten Gerätegeneration die bewährte einfache Handhabung der Systeme mit einer Reihe technischer Besonderheiten kombiniert, die bei anderen Geräten kaum zu finden sind. Dazu zählt in erster Linie die Entkoppelung von X,Y und Z-Scanner. Durch diese Trennung ergeben sich zahlreiche Vorteile, so z.B. die Realisierung des echten nicht-berührenden, „True Non Contact“-Scanmodus, der besonders Spitzen- und Probenschonend ist. Der eingesetzte X,Y Flexurescanner arbeitet äußerst präzise und ist mit einer out-of plane Bewegung von wenigen nm über den gesamten Scanbereich von 100micron spezifiziert. Damit werden, anders als bei Verwendung von Röhrchenscannern, ebene Oberfläche auch ohne zusätzliche Softwarekorrekturen eben abgebildet. Selbstverständlich sind alle Geräte standardmäßig hardware-linearisiert (für kleine Scanbereiche wahlweise auch abschaltbar) und mit einer hochauflösenden Videooptik ausgestattet.
Sämtliche Geräte der XE-Serie basieren auf der gleichen Technik und unterscheiden sich hauptsächlich durch die maximale Probengröße bzw. den möglichen Automatisierungsgrad.
Die XE-Serie umfasst dabei neben den herkömmlichen Forschungssystemen auch Geräte für Spezielanwendungen, wie z.B. Optische Nahfeldmikroskopie (SNOM) oder das neue XE-Bio, ein spezielles Bio-AFM mit dem weltweit einzigartigen SICM-Modus, der die völlig berührungslose und damit schonende Messung von Zellen in ihrer natürlichen Umgebung ermöglicht. Auch die Koppelung mit anderen Messtechniken, beispielsweise die Ankoppelung an ein Ramanspektrometer ist problemlos möglich.
Neben diesen in erster Linie für den Forschungsbereich konzipierten Geräten der XE-Serie bietet Park auch eine vollständige Produktlinie für den Einsatz in der Industrie.

 

  

Ausschlaggebend für den Erfolg der Park XE-AFM Serie sind die technischen Vorteile:

 

- Neue AFM Plattform mit schnellem Z-Scanner, separiert vom XY-Scanner, Flexure Scanner statt Röhrchenpiezos, Closed Loop für XY und Z (einzeln umschaltbar auf Open Loop)

 

- Echter Non-Contact Modus - keine Veränderung der Probe und geringer Messspitzen-Verschleiss auch bei empfindlichen Messspitzen, dadurch bestmögliche AFM Auflösung

 

- Nanometrologie: < 1nm Z-Abweichung beim Scannen flacher Proben über einen Messbereich von 50 µm (ohne Softwarekorrktur); ausgezeichnete Linearität und Orthogonalität (Scans unter 0° und 90° deckungsgleich)

 

- Einfache Handhabung durch Top-View-Optik und die Möglichkeit, Spitzen von Hand zu wechseln, ohne den Messkopf auszubauen 

 

 

 

       Geräte

  • NEU: NX10
  • XE-70  (preisgünstiges AFM für die Forschung)
  • XE-100  (universelles AFM) 
  • XE-150  (motorisierter Probentisch)
  • XE-200  (200µm Scanbereich, grosser Probentisch für 8 Zoll Wafer)
  • XE-NSOM  (NSOM, Raman und anderen optische Verfahren) 
  • XE-BIO  (Messung an lebenden Zellen mittels ICM, auf invertiertem Mikroskop)  

 

Anwendungen: 

 

- Rasterkraft Mikroskopie (AFM, DFM)

- Scanning Tunneling Mikroskopie (STM)

- Lateral Force Mikroskopie (LFM)

- True Non-Contact Modus (nc-AFM)

- Phasen Abbildung / Phasen Detektions Mikroskopie (PDM)

- Magnetic Force Mikroskopie (MFM)

- Scanning Thermal Mikroskopie (SThM)

- Scanning Kelvin Force Mikroskopie (SKFM)

- Kraft-Abstands Spektroskopie (F-d Spectroscopy)

- Kraftmodulations Mikroskopie (FMM)

- Leitfähigkeits AFM (I-AFM)

- Electrostatic Force Mikroskopie (EFM, DC-EFM)

- Scanning Kelvin Probe Mikroskopie (SKPM)

- Scanning Capacitance Mikroskopie (SCM)

- Scanning Spreading Resistance Mikroskopie (SSRM)

- Nanoindentation

- Nanolithografie

- Nanomanipulation

- Tip Enhanced Raman Spektroskopie (TERS)

- Elektrochemisches AFM

- Opische Nahfeld Mikroskopie (NSOM)

- Ionen Leitfähigkeits Mikroskopie (ICM, abbilden lebender Zellen) 

 

 

 

 

Park Systems Industrielle AFM's

Die automatisierten Park AFM's werden in der Halbleiterindustrie für diverse Anwendungen eingesetzt.

Geräte

- XE-HDM

- XE-PTR

- XE-3DM

- XE-CMP

- XE-WAFER

- XE-LCD

 

Kontakt
Schaefer Technologie GmbH
Robert-Bosch-Str. 31
63225 Langen, Deutschland
Telefon +49-6103-300 98 0
Telefax +49-6103-300 98 29
info@schaefer-tec.com
www.schaefer-tec.com

Weitere Informationen

Links
- Webseite Park Systems
- Anwendungen

Downloads
- XE-100 Prospekt (0.9 MB)

- XE-150 Prospekt (1.3 MB)

- XE-Bio Prospekt (3.5 MB)

- XE-NSOM Prospekt (1.9 MB) 

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